ASML（阿斯麦）官方宣布：卖给中芯的是DUV机器设备

3月5日信息，前天中芯发布消息称，企业依据大批量采购协议已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期内就选购阿斯麦商品与阿斯麦集团公司签署选购单，阿斯麦选购单的总成本为1,201,598,880美金（约12亿美金）。

依据ASML发布的信息内容，本次买卖选购的是DUV光刻工艺机器设备。

据了解tsmcN7(第一代7nm工艺)和N7P（第二代7nm工艺）为DUV光刻技术生产制造，并且N7 (第三代7nm工艺)则由更优秀的EUV光刻技术生产制造，本次选购未涉及到EUV光刻技术。中芯现有DUV光刻技术，本次选购DUV光刻技术关键用以扩大生产能力。据传言，本次选购机器设备型号规格或包括NXT 1980Di和NXT2050i。